单晶炉热场装置的节能技术应用

【摘要】：正【技术简介】单晶炉是生产单晶硅的主要设备,单晶炉中装配的石墨热场用于熔化多晶硅,石墨热场和生长工艺设计的好坏决定单晶硅的品质、生产效率和电能消耗。公司通过对原有18英寸及20英寸单晶炉热场系统的加热温区梯度、加热器的材料、电阻加热器和保温材料温度传导性的研究,提出通过改变单晶炉热场抽气口、改变保护气体流动方向、设计新型辐射隔绝导流筒和重新选择加热 【作者单位】：新疆新能源股份有限公司
【分类号】：TF806.9
【正文快照】： .J，，.j，合尝已q，，二勺.曰.夕产J、，J沙、.，J IJ一护、价.，.~J【技术简介】单晶炉是生产单晶硅的主要设备，单晶炉中装配的石墨热场用于熔化多晶硅，石墨热场和生长工艺设计的好坏决定单晶硅的品质、生产效率和电能消耗。公司通过对原有18英寸及20英寸单晶炉热场系统

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

利用湿化学方法在单晶硅表面接枝PDA分子    戴郁菁;周家宏;

单晶硅AFM加工过程的分子动力学模拟    黄德明;王立平;薛群基;

MFC在单晶炉上控制氩气流量的应用    田伟娜;王宏博;

室温常压溶液法合成烯丙基功能化的正六边形硅纳米晶体    王晶;孙树清;

行业动态    

硅产业健康发展路径    赵家生;

前言·纳米材料与器件    解思深;

HIT太阳能电池的发展概况    史少飞;吴爱民;张学宇;姜辛;

中硅高科多晶硅深加工75兆瓦硅片项目全线投产    

PVDF薄膜晶相生长及荧光检测研究    杨兵初;左舜贵;鲁振;黄文龙;周聪华;熊健;

超光滑抛光技术的研究与应用探索    陈兴建;孙铁;张伟;

单抛机双面硅抛光片有蜡贴片工艺研究    李科技;由佰玲;武卫;孙晨光;李翔;

兆瓦级并网光伏示范电站的优化匹配设计    明杰;刘志璋;张庆祝;

非球面凹透镜阵列的设计制作与性能研究    魏明月;张新宇;张天序;

浅析绿色照明在建筑工程中的应用    黄定如;

太阳能光伏发电系统的设计    李大军;

提高光伏太阳能电池效率的几种途径    滕道祥;

硅上SiO_2膜的喇曼谱    姜建义;余菊华;许存义;刘春荣;

宁夏日晶电子8英寸单晶硅棒成功下线    记者 李刚

单晶炉：全自动化是方向    本报记者 诸玲珍

晶龙单晶炉打开中亚市场    通讯员 段同刚　田思 记者 蔡计锁

九晶电子年产1300吨单晶硅二期项目开工建设    记者 彭华

晶龙集团成功研制新型单晶炉设备    通讯员 段同刚 田思

宁晋太阳能单晶硅产量占世界二成    通讯员 柳辉强、李素现 记者 蔡计锁

南玻成功拉制出直径8英寸单晶硅棒    证券时报记者 牛溪

单晶硅让宁晋享誉世界    记者石磊

河北宁晋太阳能单晶硅产量占世界二成    王迅

晶龙自动化大型单晶炉填补国内技术空白    通讯员 段同刚　田思 记者 蔡计锁

高能粒子辐照单晶硅辐照效应的研究    陈贵锋

硅片延性域磨削机理研究    霍凤伟

环形电镀金刚石线锯加工技术及加工质量研究    孟剑峰

Fe注入α-Al_2O_3、Co注入单晶硅注入态与退火态的微结构研究    王岩

环形金刚石线锯丝制造技术及锯切实验研究    侯志坚

基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究    王璐

纳米掺杂AgSnO_2电触头材料及其单晶硅类流态结构的研究    郑冀

微电子机械系统力学性能及尺寸效应研究    韩光平

基于分子动力学的单晶硅纳米加工机理及影响因素研究    李德刚

阿伏伽德罗常数测量中硅球直径测量的若干关键问题研究    康岩辉

单晶炉结构有限元分析及优化设计    于雪峰

单晶炉勾形磁场的优化设计与实现    安涛

直拉单晶炉生长系统模型预测控制方法研究    严博涛

神经网络PID算法在坩埚旋转与位置控制中的应用    苏全振

单晶炉温度控制装置的研究    胡洁微

单晶硅中氧和碳的分布及控制方法    胡波

基于图像处理的直拉单晶直径测量系统的研究    涂瑾

大直径单晶炉Cusp磁场设计与研究    欧阳鹏根

单晶硅和石英光纤表面上电沉积功能性镀层的研究    张国安

单晶硅吸收型光纤温度传感器的探索    张邵华