电化学清洗在太阳能电池制绒前的应用

【摘要】：在太阳能电池制造工业中,为解决硅片制绒前的传统表面处理存在的药剂消耗多以及硅片去除量大的问题,引入电化学清洗的方法。这种方法是利用专用试剂电解后的强氧化性质,通过腐蚀、氧化与清洗的结合,有效清洗硅片表面有机物,且硅片去除量小。从实验中可以看出,去除量减少了1/2。通过应用金刚石膜电极,可高效生产专用试剂电解液。通过XPS显示,电化学清洗能够有效去除有机物污染。对比了电化学清洗与RCA清洗后硅片制绒的效果,证明电化学清洗的制绒效果良好。使用后的电解液经过电极处理后,仍能有效重复使用,说明电化学清洗可有力地控制排放,是大型工业生产中有效去除有机物的方法。 【作者单位】： 河北工业大学微电子研究所;
【关键词】： 太阳能电池 制绒 清洗 表面沾污 硅片
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 0引言目前,利用半导体器件的光伏效应原理把太阳辐射能转换成电能的太阳能电池产业发展非常迅速,各国均在实施激励政策,投入巨资支持产业化发展[1]。阻碍其发展的重要问题之一,就是居高不下的制造成本导致了电价水平一直不能与其他发电方式形成竞争,而通过在硅衬底片表面制备

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