日立化成开发出可蚀刻SiN的浆料,用于太阳能电池等领域

【摘要】：正日立化成开发出了可蚀刻氮化硅(SiN)的浆料,并在第12届国际纳米技术综合展上展出。只要利用丝网印刷工艺使该浆料成形,便可只去除浆料下面的SiN。日立化成的目标是将这种浆料用于太阳能电池及MEMS制造工序等。在结晶硅型太阳能电池的制造工序中,通常要在硅电池单元的受光侧用SiN形成防反射膜。而且在该防反射膜上形成Ag电极后,还要进行"Fire Through"加工,在数百摄氏度下加热,使Ag电极与硅电池单元接触。 【关键词】：
【分类号】：TM914.4;TN304;F416.6
【正文快照】： 日立化成开发出了可蚀刻氮化硅(SiN)的浆料,并在第12届国际纳米技术综合展上展出。只要利用丝网印刷工艺使该浆料成形,便可只去除浆料下面的SiN。日立化成的目标是将这种浆料用于太阳能电池及MEMS制造工序等。在结晶硅型太阳能电池的制造工序中,通常要在硅电池单元的受光侧用S

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容