湿法腐蚀硅片并生长氧化锌纳米棒作为太阳能电池减反层研究

【摘要】：在硅基太阳能电池表面制备减反层可以有效降低硅表面的反射率,提高吸收率,从而提高硅基太阳能电池的光电转换效率。本研究利用四甲基氢氧化铵(Tetramethyl Ammonium Hydroxide TMAH)溶液对(100)单晶硅进行各向异性腐蚀,在表面腐蚀出金字塔结构,得到了最低为6%左右的反射率。然后采用水热法在该衬底生长氧化锌纳米棒,得到了最低小于3%的反射率,比单采用腐蚀或者ZnO纳米棒生长的硅表面的反射率更低。这种减反方法工艺简单、高效,有望得到应用。 【作者单位】： 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室微电子学系;
【关键词】： 减反层 四甲基氢氧化铵 湿法腐蚀 各向异性 ZnO纳米棒
【基金】：新世纪优秀人才支持计划(NCET-11-0111)~~
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 减反层用来减少光的反射率、提高吸收率,有着广泛应用。例如在硅基太阳能电池表面淀积一层氮化硅薄膜,可以提高硅太阳能电池表面的光吸收率,从而增加光电转换效率。主要有两种类型的减反层:折射率渐进型减反层和多叠层干涉型减反层。目前在硅太阳能电池中主要的制备折射率渐

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