千吨级多晶硅材料生产过程节能技术应用

【摘要】：正【项目简介】生产工艺:SiHCl3合成---SiHCl3提纯---大型高效还原---多晶硅产品洁净处理---副产物回收---热能循环回收利用(附工艺流程图)。 【作者单位】：洛阳中硅高科技有限公司
【分类号】：TN304
【正文快照】： ，廿IJ只寸，书土【司刁计丁X护曰IJ伏2万PJ【项目简介】生产工艺:SIHC13合成一SIHC13提纯一大型高效还原一多晶硅产品洁净处理一副产物回收一热能循环回收利用(附工艺流程图)。生产工艺路线采用六项新工艺: 1、SIHC13合成产物全回收工艺; 2、SIHC13高效提纯技术; 3、24对棒

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