利用导热油循环冷却还原炉节能降耗

【摘要】：本文讨论和叙述了导热油循环冷却的综合利用 ,导热油循环冷却与自来水冷却多晶硅还原炉在节能降耗方面的比较 ,以及导热油循环冷却与提高多晶硅质量的关系 【作者单位】： 峨嵋半导体材料厂(所)
【关键词】： 节能降耗 导热油 循环冷却 还原炉
【分类号】：TK175
【正文快照】： 1　概　述能源是保证生产、发展生产、保证人民生活的物质基础 ,它提供工农业生产和人民日常生活所需要的各种能量。因此 ,能源的合理利用和开发 ,对国民经济和人民生活具有重大意义。世界各国的经济与技术发展显示 ,生产越发展 ,机械化、自动化、电气化的程度越高 ,能源的需

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