用于下一代光伏的新型MEMS技术

【摘要】： 【关键词】： 光伏产业 光刻胶 产业创新 晶圆 技术转移 硅太阳能电池 制造技术 纳米压印 制造过程 半导体器件
【分类号】：F416.6
【正文快照】： 虽然光伏技术与微机电系统(MEMS)非常不同,但两个产业却年龄相仿,并都处在将进入批量生产的阶段。新一代高效率太阳能电池需要创新性制造技术的支持,以大幅度降低生产成本。MEMS产业的供应商在过去的几年里经历了严峻的挑战,为减少这些设备的生产成本而推出创新,继尔引发了技

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