串联光伏电池非晶硅薄膜的Nd~(3+):YAG激光辅助掺杂与同时毛化(英文)

【摘要】：对结合激光辅助掺杂和毛化方法合成的光伏电池用Sb掺杂非晶硅薄膜进行了研究。首先,用阈值通量为460mJ/cm2的激光照射镀有200～300nm厚Sb的非晶硅薄膜进行施主扩散。为激活施主,样品用230mJ/cm2的低激光通量再一次进行处理。进行施主激光扩散和活化时,激光光斑的重叠度达到光斑大小的90%,因此随后诱发了薄膜表面的毛化。多晶毛化峰由扫描电子显微镜、喇曼光谱、原子力显微镜等多种表征手段进行了验证,处理后的样品其正面和背面的拉曼光谱均出现了521cm-1的晶体峰值。样品的n型特征得到了Hall效应测试的证实,同时证明了掺杂的有效性。表面毛化粗糙度达到450nm,并且观测到了光电导和吸收光谱的增强,这些均证实了样品光伏性质的改善。 【作者单位】： Department
【关键词】： 激光辅助掺杂 掺杂 毛化 Sb 光伏电池 Nd+∶YAG纳秒激光
【基金】：Supported by MEE 0607167 NFSCNILE
【分类号】：TN304.055;TM914.4
【正文快照】： 1 IntroductionTandem solar cells containing amorphous silicon(a-Si)and microcrystalline silicon(c-Si)arepreferred device structure for active layers inthin film for photovoltaic applications.Amor-phous-Si(a-Si)films possess a larger band gap(1.7eV)than c

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