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半导体工厂冷水系统节能项目及管理

来源:论文学术网
时间:2024-08-19 02:23:25
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半导体工厂冷水系统节能项目及管理【摘要】:重点讲述半导体工厂冷水系统中的水蓄冷及设备冷却水预冷两个节能项目;简单介绍相关设备涉及的其他节能项目,同时介绍冷水系统相关设备的节能管理,

【摘要】:重点讲述半导体工厂冷水系统中的水蓄冷及设备冷却水预冷两个节能项目;简单介绍相关设备涉及的其他节能项目,同时介绍冷水系统相关设备的节能管理,以供各位同行参考。 【作者单位】: 上海华虹NEC电子有限公司动力部;
【关键词】半导体工厂 冷水系统 节能管理
【分类号】:TU831.3
【正文快照】: 0引言上世纪90年代末本世纪初,国内半导体行业快速升级,华虹NEC一厂成为国内第一家8英寸芯片半导体工厂。社会的发展,国民意识的提高使得节能减排工作提到越来越紧迫的位置。芯片厂的能源消耗是巨大的,华虹NEC一厂每月仅水电费就超千万元,还不包括蒸汽费、特殊气体及化学品等

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