浅谈太阳能晶硅电池生产过程中的扩散工艺

【摘要】：太阳能晶硅电池主要是以单/多晶硅片为原材料,利用光伏效应将太阳能转化为电能。在电池片的生产过程中,扩散制PN结是最核心的工序。扩散工艺对电池的性能有着重要影响。文章从工厂生产的角度,结合工艺及设备使用情况,浅谈扩散工艺的技术特点。 【作者单位】： 西安黄河光伏科技股份有限公司;
【关键词】： 晶硅电池 扩散制结 工艺
【分类号】：TM914.41
【正文快照】： 1扩散在传统电池生产中的工艺步骤原材料硅片来料检验——清洗制绒——扩散制结——干法刻蚀洗磷(或湿法刻蚀)——PECVD镀膜——丝网印刷——烧结——测试分选——电池片成品包装。2扩散的原理及POCl3制PN结物质分子因浓度梯度而进行分子转移是扩散的基本原理;在工厂的晶硅电

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