高效晶硅太阳能电池新工艺研究

【摘要】：正光伏产业是新能源产业的重要发展方向,在目前的光伏产业中,晶体硅太阳电池占据着主导地位。提升太阳能电池的效率、降低系统发电成本,实现光伏发电从补充能源向主流能源的跃进,必将需要一些突破性的技术来颠覆传统。本报告对黑硅技术、等离子体掺杂制备PN技术和原子层沉积钝化技术进行了详细的研究。提出利用等离子体浸没离 【作者单位】：中国科学院微电子研究所
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 光伏产业是新能源产业的重要发展方向,在目前的光伏产业中,晶体硅太阳电池占据着主导地位。提升太阳能电池的效率、降低系统发电成本,实现光伏发电从补充能源向主流能源的跃进,必将需要一些突破性的技术来颠覆传统。本报告对黑硅技术、等离子体掺杂制备PN技术和原子层沉积钝化

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