快速热处理法制备单晶硅太阳能电池

【摘要】：利用快速热处理(RapidThermalProcessing,RTP)技术,成功制备了单晶硅太阳电池。在三个重要的热处理环节(磷扩散制作P-N结、热氧化、电极烧结)采用了快速热处理法,电极制作采用了丝网印刷。初步研究,用大面积的单晶硅片制备出转换效率为11%、开路电压为564.6mV、短路电流密度为30.7mA/cm2的太阳电池。 【作者单位】： 浙江大学硅材料国家重点实验室 浙江大学硅材料国家重点实验室 浙江大学硅材料国家重点实验室 浙江大学硅材料国家重点实验室 浙江大学硅材料国家重点实验室
【关键词】： 快速热处理(RTP) 硅 太阳电池
【基金】：国家“十五”科技攻关计划(2004BA410A02) 教育部留学回国人员基金 浙江省自然基金项目(Y105468)
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 自从20世纪60年代出现快速热处理(RapidThermal Processing,RTP)技术以来,已经广泛地应用于微电子器件生产过程中。20世纪80年代中期以来,RTP技术开始在实验室里应用于太阳电池制作[1]。RTP工艺与常规热处理(Conventional FurnaceProcessing,CFP)工艺相比,具有缩短生产周期、

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