适用于200mm太阳能电池片的闭管扩散/氧化系统设计

【摘要】：介绍了适用于太阳能电池生产线闭管磷扩散设备,着重阐述了该设备的结构组成、工艺原理及控制。 【作者单位】： 北京七星华创电子股份有限公司 北京七星华创电子股份有限公司
【关键词】： 闭管扩散 太阳能 设备
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 1引言自上世纪末至本世纪初以来,由于化石燃料的日趋枯竭,造成能源形势日趋紧张。加之与日俱增的化石燃料的燃烧所造成的环境污染,已经对地球生态平衡和人类的生存带来严重的危害。世界范围内的能源短缺和人们环保意识的增强,使得太阳能被认为是21世纪最重要的新能源。太阳能

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